主營產(chǎn)品：代理銷售：HORIBA堀場橢圓偏振光譜儀、博曼BOWMAN測厚儀、JASCO分光光度計、HITACHI日立科學(xué)儀器光譜儀、日本TOFCO東富科流量計、KOFLOC小島流量計、FUJI富士超聲波流量計、showa-KK昭和流量計、HITACHI日立金屬流量計、FUJIKIN富士金氣動閥門、日本ULVAC愛發(fā)科泵、HONDA本多電子、TORAY東麗氣體濃度計、KOSAKA小坂臺階儀、TOKYOKEISO東京計裝流量計、MIKASA勻膠機、RYUKI東京流機流量計、IMV愛睦威地震儀、TOYO東洋光通信器傳感器、MITAKA三鷹光器、日本KURABO倉紡濃度計.

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半導(dǎo)體專用設(shè)備MA-60F光刻機日本MIKASA株式會社MIKASA米卡薩

日本MIKASA株式會社對準(zhǔn)曝光機：提供技術(shù)支持，安裝，培訓(xùn)！MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、日本MIKASA株式會社旋轉(zhuǎn)涂布機：MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（密封）日本MIKASA株式會社顯影刻蝕裝置：AD-1200AD-3000ED-1200ED-3000

*大電路板尺寸
φ6英寸顯微鏡分辨率使用物鏡20×?xí)r
1.2μm
*大基板厚度
2㎜
*大蒙版大小
7×7 英寸對齊
間隙長度測量功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
紫外線燈屋
集成器類型
照度
＞18mW/c㎡(at405nm) 操縱器
移動范圍 X/Y ± 5mm 微動 1/8mm 1 圈
θ：70° 微動±7°
Z：4mm（氣動驅(qū)動分鐘 1mm/粗動
3mm）
微動 0.16mm
照度均勻性＜±5.0％
曝光光源 UV 燈 250W
十字級
移動范圍 X/Y ±20mm
曝光波長寬帶（g、h、i 線）
曝光計時器 0~999.9秒定時器設(shè)置式
1~9999計數(shù)
累計光量計數(shù)器式
切換方式氣壓用于掩膜級 0.5MPa
氮氣 N2 吹氣用 0.5MPa
UV 燈
退化補償功能標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備真空掩模和基板吸附用
-0.08MPa
如何聯(lián)系
軟觸點
/硬觸點除振臺標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
電源 AC100～110V 50/60Hz 20A
對齊范圍
雙視場顯微鏡
物鏡間隔 18-60mm 外部尺寸
（包括 mm/除振臺） 1130W×1650H×800D
重量 360㎏

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