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日本MIKASA株式會(huì)社旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)常見(jiàn)問(wèn)題國(guó)內(nèi)直采提供技術(shù)支持!





Mikasa Co., Ltd. 作為一家對(duì)社會(huì)有貢獻(xiàn)且值得信賴的公司,開(kāi)發(fā)和銷售半導(dǎo)體制造設(shè)備、檢查和測(cè)量設(shè)備。 通過(guò)這一點(diǎn),我們將努力保護(hù)環(huán)境和減少環(huán)境影響,以成為一家環(huán)保型公司為目標(biāo),我們將做出以下努力。我們將努力保護(hù)地球環(huán)境、防止污染和保護(hù)環(huán)境,并不斷改進(jìn)我們的環(huán)境管理體系。我們將遵守與環(huán)境相關(guān)的法律法規(guī),以及我們同意的其他要求,以及我們選擇的要求。我們將系統(tǒng)地采取行動(dòng),以實(shí)現(xiàn)我們的環(huán)境目標(biāo)。 此外,我們將定期審查我們的環(huán)境目標(biāo)。在我們的業(yè)務(wù)活動(dòng)中,我們將努力節(jié)約資源和能源,減少對(duì)環(huán)境的影響,并保護(hù)環(huán)境。為了遵守本環(huán)境政策,我們將努力對(duì)所有董事和員工進(jìn)行徹底的教育。我們將在內(nèi)部和外部披露此環(huán)境政策。 

Mikasa Co., Ltd.

總裁 Yasuhiro Asano 


PCB的常見(jiàn)問(wèn)題

1.在*大樣品量下,可以使用多厚的基材?
至于厚度,每個(gè)型號(hào)的*大兼容板尺寸假設(shè)為 2 mm 左右。 如需厚度為 2 mm 或更大的電路板,請(qǐng)聯(lián)系我們。


2.是否可以將旋涂機(jī)應(yīng)用于硅晶片以外的物體?
我們?cè)诓A?、膠片、鏡頭、光盤等方面都有良好的記錄。


3.關(guān)于電路板的定心方法。

由于樣品臺(tái)的制造使其與基板的尺寸相同,因此如果外部形狀匹配,則可以對(duì)中對(duì)于 MS-A100 以外的型號(hào),可選擇對(duì)中夾具(對(duì)接)。


4.在旋涂過(guò)程中,我在繞過(guò)電路板背面時(shí)遇到問(wèn)題。 有沒(méi)有對(duì)策?
它可以通過(guò)反沖洗來(lái)處理。 雖然它是一個(gè)可選機(jī)制,但 MS-B150、MS-B200 和 MS-B300 可以支持它。 請(qǐng)聯(lián)系我們了解詳情。


5.可以涂覆水溶性溶劑嗎?
還有與基材的粘附問(wèn)題,因此請(qǐng)先與我們聯(lián)系。


6.在將光刻膠涂到基材上之前,需要做什么嗎?
● HMDS 處理:通用。 這是一種使晶片表面疏水的處理。
● 通過(guò)蝕刻去除氧化膜:這是用強(qiáng)酸在晶片上蝕刻氧化硅膜的過(guò)程。

● 準(zhǔn)分子處理:這是一種通過(guò)去除基板表面的有機(jī)物并利用短波長(zhǎng)紫外線能量和產(chǎn)生的臭氧對(duì)表面進(jìn)行親水處理來(lái)提高玻璃基板表面附著力的處理。


樣品架(卡盤支架)


1.是否有標(biāo)準(zhǔn)的樣品臺(tái)(卡盤支架)? 交貨時(shí)間是多長(zhǎng)時(shí)間?
提供 MS-B100、MS-B150 和 MS-B200 的標(biāo)準(zhǔn)樣品架。 如果尺寸不符合標(biāo)準(zhǔn)樣品表,我們將根據(jù)基材尺寸建議樣品臺(tái)。 它也可以與 MS-A 系列一起使用。 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)的交貨時(shí)間約為一周。
有關(guān)樣品臺(tái)類型的詳細(xì)信息, 請(qǐng)聯(lián)系我們了解詳情。

2.哪些類型的樣品架(卡盤支架)可以與可用于方形 (□) 和圓形 (Φ) 以外的基材的旋涂機(jī)一起使用?
我們還擁有生產(chǎn)用于切割基板、變形基板、薄膜、載玻片和圓盤的樣品架(卡盤支架)的記錄。 我們將根據(jù)客戶使用的基板尺寸引導(dǎo)您前往樣品臺(tái)(卡盤支架)。 請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。


3.將基板固定在旋涂機(jī)的樣品臺(tái)(卡盤支架)中的方法是什么?
基本方法是真空吸附。
還有溝式和小孔型吸附法。 我們根據(jù)基板的形狀、厚度和薄膜厚度等信息提出建議。
也可以使用機(jī)械卡盤方法,但在這種情況下,不能使用真空聯(lián)鎖功能。
此外,我們根據(jù)您的愿望和應(yīng)用,提出了一種不吸附中心的外周吸附方法、O 形圈吸附方法等。


4.旋涂機(jī)樣品臺(tái)(卡盤支架)有哪些不同類型的材料?


基本上,軸由 POM 制成,吸入表面由鋁制成。
此外,還提供 POM 和 Teflon。

對(duì)于其他材料 [不銹鋼、PEEK、PVC],請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。


5.旋涂機(jī)的卡盤支架是否與所有型號(hào)兼容?
主機(jī)和樣品架的插入直徑因型號(hào)而異。 如果是后繼型號(hào),則兼容。
后續(xù)模型如下。
● 1H-D7 ? MS-A100 ? MS-B100
● 1H-DX2 ? MS-A150 ? MS-B150
● 1H-360S ? MS-A200 ? MS-B200
● MS-A300 ? MS-B300
● 1H-700C ? MS-A500


不同材質(zhì)的樣品臺(tái)(卡盤支架)有哪些優(yōu)缺點(diǎn)?


■ 由鋁制成
優(yōu)點(diǎn):由于是金屬,比樹(shù)脂更容易加工,并且可以在吸附表面的表面精度(平整度)下進(jìn)行加工。 此外,由于它是金屬,因此具有出色的耐用性。 它可以以相對(duì)較低的成本生產(chǎn)。
缺點(diǎn):由于其導(dǎo)熱性高,在連續(xù)運(yùn)行的情況下,電機(jī)產(chǎn)生的熱量可能會(huì)影響薄膜的沉積。 由于比重比 POM 和特氟龍重,因此當(dāng)比重變大時(shí),會(huì)產(chǎn)生加減速性能下降等效果。


■ 由 POM 制成
優(yōu)點(diǎn):由于是*接近金屬的樹(shù)脂,因此具有良好的可加工性,并且易于達(dá)到表面精度(平整度)。 機(jī)械抗疲勞性。 由于它是一種接近金屬的樹(shù)脂,因此具有出色的耐用性和低導(dǎo)熱性。 它比特氟龍便宜。
缺點(diǎn): 它不耐丙酮等有機(jī)溶劑,易受熱并膨脹。 與特氟龍相比,它的耐化學(xué)性較差。


■ 由特氟龍制成
優(yōu)點(diǎn):優(yōu)異的耐化學(xué)性和對(duì)大多數(shù)化學(xué)品的抵抗力。 它還具有出色的耐熱性,并且在應(yīng)用以及不粘和低磨損方面用途廣泛。
缺點(diǎn):昂貴。 它在機(jī)械上很脆,容易受到?jīng)_擊。 由于比重大,加減速性能降低。 比鋁重。 與鋁和 POM 相比,它更柔軟,因此在表面精度(平整度)方面較差。


如何為旋涂機(jī)選擇樣品架(卡盤支架)的材料


■ 由鋁制成
● 便宜的樣品臺(tái)。
● 如果您擔(dān)心吸附面的表面精度。
■ 由 POM 制成
● 我不想損壞背面。
● 當(dāng)使用的基板尺寸成為設(shè)備的 MAX 尺寸,樣品臺(tái)變得又大又重時(shí)。
● 如果您擔(dān)心熱傳導(dǎo)。 (當(dāng)溶劑高度揮發(fā)或受薄膜引起的溫度變化影響時(shí))
■ 由特氟龍制成
● 使用多種不同性能的涂料溶液。
● 使用有機(jī)溶劑。
● 我不想損壞背面。

● 熱傳導(dǎo)是一個(gè)問(wèn)題。 (當(dāng)溶劑高度揮發(fā)或受薄膜引起的溫度變化影響時(shí))


安裝旋涂機(jī)需要哪些實(shí)用程序?
主機(jī)和真空泵都需要 100V 和 200V,具體取決于型號(hào)。 此外,如果安裝了可選的滴水裝置,則需要干燥空氣和 N2(氮?dú)猓?/span>


需要真空泵才能使用旋涂機(jī)嗎?
您將需要一個(gè)真空泵,但如果您可以從工廠真空管路連接它,您就可以沒(méi)有它。 此外,在機(jī)械卡盤式的情況下沒(méi)有必要,在這種情況下無(wú)法使用真空聯(lián)鎖功能。 請(qǐng)聯(lián)系我們了解詳情。