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日本MIKASA株式會(huì)社/米卡薩中國(guó)現(xiàn)貨代理


日本米卡薩MIKASA株式會(huì)社中國(guó)現(xiàn)貨代理


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半導(dǎo)體制造工序中的Mikass半導(dǎo)體設(shè)備

為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa


備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì),且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過(guò)程中所發(fā)生的一系列問(wèn)題,也可在現(xiàn)場(chǎng)提出解決建議。與客戶共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問(wèn)題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問(wèn),不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程


晶圓→洗滌(**晶圓表面的臟污及各種金屬離子)→成膜(在高溫?cái)U(kuò)散爐中,形成表面氧化膜)→光刻膠涂布(將光刻膠(感光材料)涂抹到晶圓表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(將光掩膜與晶圓重合,復(fù)制電路圖案)→顯影(去除曝光部位(正膠)的光刻膠)→蝕刻(通過(guò)腐蝕氧化膜來(lái)蝕刻電路)

日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀SpinCoater.


光刻膠涂布/將光刻膠(感光材料)涂抹到晶園表面,形成厚度均一-的薄膜。






旋轉(zhuǎn)涂膜儀
滴液裝置可選組件 吸盤
●MS-B100/ MS-B150
●MS-B200
●MS-B300
●MS-B200 (密閉型)
●MS-B300 (密閉型)
日本MIKASA光刻機(jī)
●MA-10
●MA-20
●MA-60F
●M-2LF
●M-1S
日本MIKASA曝光,將光掩膜與晶園重合,復(fù)制電路圖案。


日本MIKASA顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
●AD-1200
●AD-3000
●PD-1000

日本MIKASA蝕刻裝置
蝕刻裝置
●ED-1200
●ED-3000
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)MS-150
MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-A150/MS-B150 **現(xiàn)貨
代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)SpinCoater MS-B200
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)MS-A150/MS-B150 **現(xiàn)貨



為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa
備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì),且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過(guò)程中所發(fā)生的一系列問(wèn)題,也可在現(xiàn)場(chǎng)提出解決建議。與客戶共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問(wèn)題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問(wèn),不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程給出支持。

代 理日 本各類工業(yè)品:日本SAN-EI TECH三英,MUSASHI武藏,Nordson諾信EFD,IEI巖下,aicohsha愛(ài)工舍ACM(特殊立式攪拌機(jī)),KLEENTEK可濾特,ASAHIKASEI旭化成,TAGAWA十川,YODOGAWA淀川電機(jī),MALCOM馬康,USHIO牛尾,SHOWA DENKI昭和電機(jī),TSUBAKI椿本,morite茉麗特,KIKUSUI菊水,HOZAN寶山,TRUSCO中山,cedar思達(dá),MEISEI邁澤(電熱剝線器)、SANKO山高(金屬探測(cè)器、膜厚儀)、TAKASAGO高砂制作所 (直流電源)MITSUBISHI三菱 (UPS電源、PLC自動(dòng)化)
CCS光源(視覺(jué)光源、檢查光源)、Tsubosaka壺坂(燈箱、光度計(jì)、輝度箱、光源)、POLARION普拉瑞(探照燈、HID強(qiáng)光燈、檢查燈)AITEC艾泰克(檢查光源)、Iwasaki巖崎(金鹵燈、HID燈、UV燈)
OTSUKA大塚電子(光學(xué)膜厚儀、相位差測(cè)試儀、粒度儀)、LUCEO魯西歐(表面應(yīng)力儀、偏光應(yīng)力儀)
KYOWA共和(應(yīng)變片、壓力傳感器)、ONOSOKKI小野測(cè)器(傳感器、檢測(cè)儀)
CKD(氣動(dòng)元件、電缸)、FUJIKURA藤倉(cāng)(單向閥、泄壓閥、摩擦氣缸)
TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)(粘度計(jì))、ASKER高分子計(jì)器(橡膠硬度計(jì)、試驗(yàn)機(jī))SK新瀉精機(jī)(水平尺、水平測(cè)量?jī)x器)SKSATO佐藤(溫度計(jì)、溫度記錄儀)、上海一恒儀器 (恒溫箱、烘箱、)、TECLOCK得樂(lè)(硬度計(jì)、千分表)、AND愛(ài)安得(電子天平、工業(yè)天平)、KEM京都電子(水分儀、自動(dòng)電位滴定儀)
TOHNICHI東日(扭力扳手、螺絲刀)KANON中村(電動(dòng)螺絲刀、扭力工具)
Heishin神兵(泵、點(diǎn)膠機(jī))、KOKUSAN科庫(kù)森離心機(jī)、YUASA湯淺(柔性屏彎折試驗(yàn)機(jī))、
SIMCO思美高,SSD西西蒂,DIT東日技研,KASUGA春日,TRINC高柳(靜電儀器設(shè)備)、Kanetec強(qiáng) 力(磁力設(shè)備、高斯計(jì))
ASONE亞速旺(實(shí)驗(yàn)室儀器、車間穿戴裝備)、SAKURAI櫻井(無(wú)塵紙、熱敏紙)、Nitto-Kohki日東工器(快速接頭)、NIRECO 尼利可(電動(dòng)執(zhí)行器、傳感器)