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進(jìn)口美國博曼Bowman細(xì)線/晶圓測厚儀O系
產(chǎn)品型號(hào): O系列
產(chǎn)品品牌:Bowman美國博曼
產(chǎn)品介紹:

美國博曼(Bowman)是高精度臺(tái)式鍍層測厚儀供應(yīng)商,擁有近40年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。博曼XRF系統(tǒng)搭載擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的鍍層檢測技術(shù)和先進(jìn)的軟件系統(tǒng),可精準(zhǔn)高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統(tǒng)可同時(shí)測量包含基材在內(nèi)的五層元素,其中任何兩層元素可以是合金。同時(shí),博曼XRF系統(tǒng)也可以測量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測量系統(tǒng)滿足業(yè)界對(duì)精度,可靠性和易用性的嚴(yán)格要求。

詳細(xì)介紹

   O系列 結(jié)合了高性能和小的X射線光斑尺寸。 多毛細(xì)管聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以取代標(biāo)準(zhǔn)Bowman系統(tǒng)中安裝的準(zhǔn)直儀組件,從而實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。 光學(xué)器件旨在將來自管出口窗口的X射線聚焦到非常小的光斑尺寸(80μmFWHM),同時(shí)實(shí)際上保留100%的管通量。 因此,與準(zhǔn)直儀系統(tǒng)一樣,多毛細(xì)管光學(xué)組件不會(huì)使無法穿過小孔的X射線衰減,而是使來自管的幾乎所有X射線都能到達(dá)樣品。 結(jié)果對(duì)于測試非常小的組件或薄涂層的靈敏度更高。 與光學(xué)系統(tǒng)和類似尺寸的準(zhǔn)直儀相比,更短的測試時(shí)間可以實(shí)現(xiàn)更好的可重復(fù)性。

     該系列采用80μm毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu),同時(shí)配備可處理更高計(jì)數(shù)速率的高分辨率SDD硅漂移探測器。與 P系列其他型號(hào)相比,O系列的相機(jī)具有更大的放大倍數(shù),55x視頻放大和7x數(shù)碼變焦。一個(gè)可編程的XY樣品臺(tái)也是標(biāo)準(zhǔn)配置。O系列的焦距非常接近,所以使用時(shí)樣品必須平整。

現(xiàn)在提供擴(kuò)展階段選項(xiàng)

性能表現(xiàn)

鎳鈀金 化學(xué)鎳
微米金 微米鈀 微米鎳 微米NiP 微米%P
Ave 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
StdDev 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
范圍 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
%RSD 1.05% 1.13% 0.03% 1.07% 2.85%



產(chǎn)品規(guī)格

X射線管: 50 W Mo 靶,帶毛細(xì)管光學(xué)器件 @80um FWHM,17 KeV
探測器: 135eV分辨率的硅漂移探測器
分析層數(shù)
及元素?cái)?shù):
5層(4層+基材) 每層可分析10種元素,成分分析*多可分析25種元素
濾波器/準(zhǔn)直器: 2位置一次濾波器
輸出焦深: 固定為0.1英寸(2.54毫米)
數(shù)字脈沖處理: 4096 多通道數(shù)字處理器,自動(dòng)死時(shí)間和逃逸峰校正
計(jì)算機(jī): 英特爾, 酷睿 i5 3470 處理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 內(nèi)存, 微軟 Windows 10 專業(yè)版, 64位
相機(jī): 1/4英寸(6毫米)CMOS-1280×720 VGA分辨率,雙攝像頭為250倍,單攝像頭為45倍,屏幕為15英寸
視頻放大倍率: 55X Micro 7X 數(shù)碼變焦
電源: 150W,100-240V,頻率范圍為47Hz至63Hz
工作環(huán)境: 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對(duì)濕度小于98%,無冷凝
重量: 53kg
可編程XY平臺(tái): 桌子尺寸:381mm(15“)x 340mm(13”)| 行程:152毫米(6英寸)x 127毫米(5英寸)
現(xiàn)在可用 擴(kuò)展 舞臺(tái)選擇
樣品倉尺寸: 高度:140mm(5.5"),寬度:310mm(12"),深度:340mm(13")
外形尺寸: 高度:450mm(18"),寬度:450mm(18"),深度:600mm(24")


X射線管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
陽極靶材 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探測器
SDD硅漂移探測器 普通 普通 普通 普通 普通 普通
大窗口硅漂移探測器 可選 可選 可選 可選 可選 可選 普通 普通 普通
光斑尺寸
單個(gè)準(zhǔn)直器 普通 普通
多個(gè)準(zhǔn)直器 可選 普通 普通 普通
毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu) 可選 即將推出! 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自動(dòng)聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
單個(gè)固定焦距 普通 普通 普通  普通 普通 普通
可變焦距 可選 普通 普通 普通
視頻放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通
55X 微型 可選 可選 可選 可選 可選 普通
140X 微型 普通 普通 普通
7倍數(shù)碼變焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 普通 普通 普通
表格檢視 可選 可選 普通 普通 普通
平臺(tái)&外形尺寸
Z軸控制方式 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 可編程 可編程
Z軸行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 固定 可編程 可編程 可編程  可編程 可編程 可編程 可編程
標(biāo)準(zhǔn)XY行程 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可選XY行程 1.5 × 1.5" 10 × 10"  10 × 10"
可選的Max XY Travel 16 × 16"  16 × 16" 16 × 16"
平臺(tái)精度 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
樣品倉尺寸(高*寬*深) 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
總重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg