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國內總供ULVAC愛發(fā)科沉積直流電源DC-20-4-AM
產品型號: DC-20-4-AM
產品品牌:ULVAC愛發(fā)科
產品介紹:

ULVAC愛發(fā)科面向顯示器、太陽電池、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化學、食品、醫(yī)藥等行業(yè)以及大學、研究所等,提供真空設備、周邊機器、真空部品、材料的開發(fā)、制造、銷售、客戶服務等,以及各種器械的進出口業(yè)務。此外,提供各種真空技術相關的研究指導和技術顧問服務。

詳細介紹

國內總代原裝進口華東總代國內辦事處國內總供日本ULVAC愛發(fā)科沉積直流電源DC-20-4-AM  國內各區(qū)域均有售 




DC-10 和 DC-20 是用于濺射的 10 kW 和 20 kW 輸出直流電源。
它由可靠的組件和電路組成。 它是一種高度可靠的電源,反映了我們多年來在設計中積累的包括電源應用在內的專有技術,是等離子負載的理想選擇。

長處

  • 輕巧、節(jié)省空間的設計,安裝效果好,重量輕,節(jié)省空間
  • 輸出電壓范圍可以選擇,除了800V規(guī)格外,
    還提供1000V規(guī)格。
  • 熟悉大量電弧處理
    等離子體的多種電弧控制方法。
  • 無需冷卻水:由于采用強制風冷
    系統(tǒng),因此不需要冷卻水。
  • 它可以配備高速電弧切斷電路,即使作為標準配置也能實現
    低電弧能量。 此外,還可以選裝高速電弧電路。
  • 配備自由并聯運行功能DC-10和DC-20:可選的并聯運行功能允許通過自由組合10 kW
    和20 kW,*多可并聯運行12臺機組。 (高達240kW)

  • FPD濺射機
  • 半導體濺射設備
  • 觸摸屏濺射裝置
  • 工業(yè)鍍膜濺射設備

規(guī)范

DC-10-AM DC-10-H-AM型 DC-10-4-上午 DC-20-AM DC-20-H-AM型 DC-20-4-AM
輸入規(guī)格 輸入電壓 三相AC187~229V 三相AC342~440V 三相AC187~229V 三相AC342~440V
輸入電容 13.5kVA以下 25kVA以下
輸出規(guī)格 *大額定功率 10kW 20kW
額定電流 25安培 28" 25安培 60" 40安培 60"
額定電壓 -800伏 -1000伏 -800伏 -800伏 -1000伏 -800伏
點火電壓 -1500伏
異常放電控制 當檢測到異常放電時,由高速電弧中斷電路中斷
控制 控制方式 恒功率控制(P控制)/恒流控制(I控制)/恒壓控制(V控制)
控制精度 恒功率控制(P控制):額定輸出的±0.5%以下或設定值的±1%,以較大者為準,恒流控制(I控制):額定輸出的±1%以下或設定值的±2%,以較大者為準:額定輸出的±1%以下或設定值的±2%,以較大
者為準
。
控制保修范圍 額定功率的10~100%
外部控制 模擬/數字,RS-232C 或 485
并聯操作 *多 12 個單位(10、10H、-4 的混合,以及不混合 20、20H、-4)
冷卻方式 強制風冷
尺寸 W×D×H 483×630×133mm(不含突起部分)
質量 29公斤 36公斤
法規(guī)遵從性 CE / SEMI F47 / RoHS認證