HORIBA堀場(chǎng)集團(tuán)向各行業(yè)領(lǐng)域提供高品質(zhì)的分析與測(cè)試儀器，49家分公司遍布全球27個(gè)國(guó)家。
我們的業(yè)務(wù)涉及汽車測(cè)試、科學(xué)儀器、過程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導(dǎo)體儀器等。我們已在全球市場(chǎng)展示出自己的優(yōu)勢(shì)，尤其在汽車排放和煙道氣測(cè)量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質(zhì)控以及臨床診斷等領(lǐng)域。過去幾年來，我們?nèi)〉昧碎L(zhǎng)足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是，我們的分析和測(cè)量業(yè)務(wù)為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻(xiàn)，并為解決能源問題助一臂之力。我認(rèn)為正是這種自豪感促使我們提供更具競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品。
擁有自豪感和勇于挑戰(zhàn)的精神，以充沛的體力和激情投入到工作中去，譜寫一個(gè)更加令人滿意的人生。我們將更加快樂過好每**的愿望融入企業(yè)哲學(xué)，這一精神自企業(yè)創(chuàng)建以來一直代代相傳。遍布全球的大約7,000名堀場(chǎng)人（這樣稱呼的原因是我們把堀場(chǎng)集團(tuán)的所有員工都看成是一家人）是我們企業(yè)發(fā)展的源泉，他們能夠正確理解“新奇、有趣”這一企業(yè)哲學(xué)，并在日常工作和生活中很好地貫徹。
我們將一如既往地以自豪的態(tài)度和勇于迎接挑戰(zhàn)的精神為社會(huì)做出貢獻(xiàn)。
橢圓偏振光譜儀
薄膜表征的有效技術(shù)
橢圓偏振光譜是一種表面敏感、非破壞性、非侵入性的光學(xué)技術(shù)，廣泛應(yīng)用于薄層和表面特征。它基于線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合獲得厚度以及光學(xué)常數(shù)等。根據(jù)薄膜材料的不同，可測(cè)量的厚度從幾個(gè)?到幾十微米。橢圓偏振光譜是一種很好的多層膜測(cè)量技術(shù)。
橢圓偏振光譜儀可以表征薄膜的一系列特性，如膜厚、光學(xué)特性(n,k)、光學(xué)帶隙、界面和粗糙度厚度，薄膜組成，膜層均一性，等等。
橢圓偏振光譜適合分析的材料包括半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機(jī)物和金屬。也可用于研究固-液或液-液界面。
HORIBA橢圓偏振光譜儀采用新型高頻偏振調(diào)制技術(shù)，測(cè)試過程中無任何機(jī)械旋轉(zhuǎn)。與傳統(tǒng)橢偏儀相比，更快的測(cè)試速度、更寬的測(cè)量范圍以及更高的表征精度。
UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀//Auto SE - 自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具//Smart SE- 功能強(qiáng)大，高性價(jià)比橢偏儀//UVISEL 2 VUV
真空紫外橢偏儀
//UVISEL Plus In-Situ
在線監(jiān)控橢偏儀
//大面積成像橢偏儀//在線橢偏儀
光譜范圍從FUV到NIR：190-2100nm
UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為先進(jìn)薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合。
UVISEL Plus作為一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型，它采用了PEM 相位調(diào)制技術(shù)，與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比， 能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術(shù)，可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測(cè)試（190-2100 nm），校準(zhǔn)僅需幾分鐘?；谌碌碾娮釉O(shè)備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，F(xiàn)astAcq技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集。FastAcq專門為薄膜表征設(shè)計(jì)，雙調(diào)制技術(shù)可以確保您獲得優(yōu)異的測(cè)試結(jié)果。
相位調(diào)制技術(shù)的獨(dú)有特點(diǎn)為高頻調(diào)制 50 kHz，信號(hào)采集過程無移動(dòng)部件：
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測(cè)試全范圍的橢偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)
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從FUV到NIR具有優(yōu)良的信噪比
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數(shù)據(jù)采集速度快，高達(dá)50毫秒/點(diǎn)，是動(dòng)力學(xué)研究和在線測(cè)量的理想選擇
相比于采用 旋轉(zhuǎn)元件調(diào)制的傳統(tǒng)橢圓偏振光譜儀，UVISEL Plus的相位調(diào)制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測(cè)到其他橢偏儀無法觀測(cè)到的極薄膜或界面，還可以表征50μm的厚膜。
在測(cè)試有背反射的透明樣品時(shí)，測(cè)試簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確，無需刮花背面。
UVISEL Plus還設(shè)計(jì)有多種附件及可選功能，便于客戶根據(jù)應(yīng)用需求及預(yù)算選擇合適的配置。比如，微光斑用于圖案樣品、自動(dòng)變角器、自動(dòng)樣品臺(tái)等。
UVISEL Plus采用模塊化設(shè)計(jì)，可靈活擴(kuò)展。即可用于離線臺(tái)式測(cè)量，也可以耦合于鍍膜設(shè)備做在線監(jiān)控。
UVISEL Plus可根據(jù)習(xí)慣選擇操作界面，一個(gè)是 DeltaPsi2 具有建模和擬合處理功能；另一個(gè)是 Auto-Soft 用戶導(dǎo)向的全自動(dòng)樣品測(cè)試界面 ，工作流程直觀，易于非專業(yè)人士操作。
UVISEL Plus搭載FastAcq技術(shù)是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領(lǐng)域中優(yōu)選通用光譜型橢偏儀。
UVISEL Plus是材料科學(xué)研究的理想工具。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
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高精度和高靈敏度
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模塊化設(shè)計(jì)
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寬光譜范圍： 190-2100 nm
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集數(shù)據(jù)測(cè)量、建模和自動(dòng)化操作為一體的軟件包
獲得的信息
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膜層厚度，從1?到50 μm
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表面和界面粗糙度
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光學(xué)常數(shù) (n,k) ，適用于各向同/異性和漸變層
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光學(xué)特性如：吸收系數(shù)α, 光學(xué)帶隙Eg
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材料性能：合金成分、孔隙率、結(jié)晶度及形貌等
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穆勒矩陣
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退偏
UVISEL 規(guī)格
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光譜范圍：標(biāo)配190-885nm，可擴(kuò)展至近紅外2100nm
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檢測(cè)系統(tǒng)：高分辨率光譜儀配合高靈敏探測(cè)器
手動(dòng)配置
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光斑尺寸：0.05 – 0.1 – 1 mm（針孔）
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樣品臺(tái)：直徑150mm，手動(dòng)調(diào)節(jié)高度（20mm）和傾角
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卡位量角器：手動(dòng)調(diào)節(jié)角度，從55°到90°，步徑5°
自動(dòng)配置
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光斑尺寸：0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm（針孔）
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自動(dòng)樣品平臺(tái)：200 x 200mm或300 x 300mm，手動(dòng)調(diào)節(jié)高度（4mm）和傾角；XYZ樣品臺(tái)，theta平臺(tái)
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自動(dòng)量角器：自動(dòng)調(diào)節(jié)角度，從45°到90°，步徑0.01°
集成型量角器
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手動(dòng)調(diào)節(jié)入射角度，從35°到90°，步徑5°
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樣品臺(tái)：直徑150mm，手動(dòng)調(diào)節(jié)高度（20mm）
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自動(dòng)準(zhǔn)直系統(tǒng)（可選）
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尺寸: 25cm*21cm*35cm
在線配置
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機(jī)械適配器：CF35或KF40法蘭
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易于在在線和離線配置間更改
選配
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附件：冷熱臺(tái)、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、反射模塊（測(cè)試0°入射的反射率）等
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可視化：CCD攝像機(jī)
性能
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準(zhǔn)確度：Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°，空氣對(duì)射1.5 - 5.3 eV
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重復(fù)性：NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm)，d±0.1%，n(632.8nm)±0.0001