HORIBA堀場集團向各行業(yè)領域提供高品質的分析與測試儀器，49家分公司遍布全球27個國家。 

我們的業(yè)務涉及汽車測試、科學儀器、過程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導體儀器等。我們已在全球市場展示出自己的優(yōu)勢，尤其在汽車排放和煙道氣測量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質控以及臨床診斷等領域。過去幾年來，我們取得了長足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是，我們的分析和測量業(yè)務為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻，并為解決能源問題助一臂之力。我認為正是這種自豪感促使我們提供更具競爭力的產(chǎn)品。 

擁有自豪感和勇于挑戰(zhàn)的精神，以充沛的體力和激情投入到工作中去，譜寫一個更加令人滿意的人生。我們將更加快樂過好每**的愿望融入企業(yè)哲學，這一精神自企業(yè)創(chuàng)建以來一直代代相傳。遍布全球的大約7,000名堀場人（這樣稱呼的原因是我們把堀場集團的所有員工都看成是一家人）是我們企業(yè)發(fā)展的源泉，他們能夠正確理解“新奇、有趣”這一企業(yè)哲學，并在日常工作和生活中很好地貫徹。 

我們將一如既往地以自豪的態(tài)度和勇于迎接挑戰(zhàn)的精神為社會做出貢獻。 

橢圓偏振光譜儀

薄膜表征的有效技術

浙江總供HORIBA堀場在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ

在線監(jiān)控橢偏儀

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現(xiàn)。

采用新型適配器組件可以實現(xiàn)臺式設備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設計用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

• 高速、準確
• 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包
• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度
• 光學常數(shù)（n,k）
• 材料組成

• 光譜范圍：190-885 nm，可擴展至 190-2100 nm
• 光源：75W氙燈或150W氙燈
• 探測系統(tǒng)：單點或實時光譜采集使用高靈敏度，寬動態(tài)范圍的PMT探測器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
• 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
• 機械適配器：CF35或KF40法蘭